超声波显微镜—失效分析检测设备

       多种叫法：

       超声扫描显微镜 :简称（SAT）是Scanning Acoustic Tomography的缩写，其中Tomography为断层扫描摄影的意思。又称为SAM（Scanning Scanning Microscope），湾湾省也称作：超音波扫描显微镜。因其检测工件的时候需要将工件浸在液体耦合介质（纯水、硅油...)中,称其为：水浸超声扫描显微镜，超声扫描显微镜按照扫描方式的不同常见的有超声A扫描、B扫描、C扫描、T扫描...其中最常用的是超声C—Scan扫描方式检测。又称为：超声C扫设备、水浸C扫设备、超声C扫描等......

       检测原理：

       由超声波换能器产生的高频频的超声波、通过耦合介质。由于超声波能量的传递要求介质是连续的、所以如气孔、杂质、分层、裂纹、空洞等不连续的界面都会影响超声信号传播、信号会发生反射或者折射，由于声阻的不同，在有缺陷的或者粘接不良的界面回出现折射、反射波、通过超声换能器的扫描轴、可以对检测样品进行高速精确扫描、得到工件内部结合面的图像（通过不同扫描方式可得到不同界面的图像）可以从工件选定的结合层检测内部缺陷，面积大小及占比。

超声扫描显微镜主要检测应用

超声扫描成像过程

       应用领域：半导体封装检测：

晶圆

晶圆内部超声强度图-键合缺陷清晰可见

晶圆内部超声着色图

SOP系列封装芯片内部超声影像图：（上）超声C扫图（下）超声T扫图像

       汽车金属零部件：

水冷板内部焊接质量图——焊接缺陷