超声波扫描显微镜简单介绍：

    超声扫描显微镜，简称为超扫SAT。然而由于超声波传输过程中依赖介质，常常需要将工件浸入水中，或者其他如硅油等的液体介质中，故也被称为水浸超声扫描显微镜。

Hiwave研发的水浸超声扫描显微镜S300

超声扫描显微镜检测原理：

    水浸超声扫描显微镜主要利用超声扫描成像技术对材料内部缺陷检测的。

    如上图所示，超声探头会发射超声波束，经过液体耦合介质，抵达工件上表面，会形成上表面反射波。超声波束穿过工件时，如果遇到材料内部缺陷处（如裂纹、缝隙、空洞、气泡、夹渣、虚焊、分层等缺陷），会形成不同的反射波与折射波。

    通过计算机对所收集到的不同波的分析，就可以得到材料内部的超声强度图像了。根据超声强度图（下图）及计算机计算可以准确得出缺陷的位置、面积、占比等等技术人员所需要的数据。

Hiwave超声扫描显微镜检测金刚石复合片内部缺陷图像

超声扫描显微镜检测特点及优势（此处以国产Hiwave上海和伍智造营研发的水浸超声扫描显微镜设备为例）：

1.超声波检测结果精准，天生具有对空洞、分层等缺陷高敏感特性。

2.无损检测，不需要破坏工件，即可检测材料内部缺陷。

3.对人体无危害、对环境无污染、健康环保。检测成本低，无耗材。

4.超声检测范围广。可检测多种材料、分层、复杂结构的工件，如半导体、芯片封装，焊接金属零部件、锂电池、金刚石复合片、碳纤维材料等等。且对超声材料检测条件要求低。

5.超声扫描成像直观，缺陷清晰可见，简单易操作，检测图像反映材料内部信息数据多。

6.可做分层检测(1～50层）。检测精度高，图像分辨率高，可达微米级别。

7.检测效率快，边扫描边成像。可适配生产线。

8.可对缺陷定性定量分析，支持MES系统接入。便于企业对同一生产批次零部件的缺陷做分析，利于调整优化生产工艺。

Hiwave超声扫描显微镜检测半导体内部缺陷图像

Hiwave水浸超声扫描显微镜上海研发基地