超声波显微镜—失效分析检测设备

Hiwave-超声扫描显微镜

超声扫描显微镜的多种叫法：

超声扫描显微镜 :简称（SAT）是Scanning Acoustic Tomography的缩写，其中Tomography为断层扫描摄影的意思。又称为SAM（Scanning Scanning Microscope），在湾湾省也称作：超音波扫描显微镜。因其检测工件的时候需要将工件浸在液体耦合介质（纯水、硅油……)中，称其为：水浸超声扫描显微镜，超声扫描显微镜按照扫描方式的不同常见的有超声A扫描、B扫描、C扫描、T扫描等。其中最常用的是超声C—Scan扫描方式检测。又称为：超声C扫设备、水浸C扫设备、超声C扫描……

检测原理：

由超声波换能器产生的高频超声波，当超声波通过耦合介质时，由于超声波能量的传递要求介质是连续的，所以如气孔、杂质、分层、裂纹、空洞等不连续的界面都会影响超声信号传播，信号会发生反射或者折射。由于声阻的不同，在有缺陷的或者粘接不良的界面会出现折射、反射波，通过超声换能器的扫描轴，可以对检测样品进行高速精确扫描，进一步得到工件内部结合面的图像（通过不同扫描方式可得到不同界面的图像），从而辅助工厂技术人员可直观地了解工件选定的结合层的内部缺陷，面积大小及占比。

超声扫描显微镜主要检测应用

超声扫描成像过程

应用领域——半导体封装检测：

晶圆

晶圆内部超声强度图-键合缺陷清晰可见

晶圆内部超声着色图

SOP系列封装芯片内部超声影像图：（上）超声C扫图（下）超声T扫图像

汽车金属零部件：

水冷板内部焊接质量图——焊接缺陷