工业影像检测的“三驾马车” ——超声波断层扫描成像SAT

在医学影像领域有“三驾马车”分别是B超、CT以及核磁共振MRI设备，他们被用作生物内部器官的影像检测，为整个医学检测领域做出了巨大的贡献。对应的，在工业检测影像设备技术领域中，也存在“三驾马车”，他们分别是：超声波扫描显微镜C-SAM或（SAT）、X-ray/工业CT和扫描电镜SEM。

目前，这些手段在检测工业无损检测领域发挥的作用影响颇深，如集成电路电子元器件、半导体芯片领域、航空航天领域、新能源、新材料等检测领域上面都发挥着巨大的作用。

一块芯片，对应的可靠性检测分析手段：

1、超声SAT检测：材料内部的晶格结构分析、断面层杂质颗粒、夹杂物、沉淀物、内部裂纹、空洞、气泡、焊接缺陷、分层缺陷等数据分析。

Hiwave超声SAT检测现场

超声扫描显微镜是利用超声脉冲回波成像技术，实现对材料内部的成像。是一种高精度检测材料内部各个界面图像的设备，具有穿透性强、方向性强、可靠性强等优点，它在工业检测领域具有较强的应用范围。

Hiwave超声波扫描显微镜检测芯片内部缺陷

在相当长的一段时间，我国SAT设备依赖进口，虽说想要追逐上“三驾马车”最顶端的技术，我们还有一段距离要走。但是随着我国综合国力的提升，科研人员夜以继日的追赶，以及相关科研企业的在此领域不断深耕，我们在相关领域还是取得了一定的成果。

以Hiwave自主研发的S600超声扫描显微镜为例，该产品具备以下特点：

国产Hiwave超声扫描显微镜

1、可兼容1~110MHz的超声探头，搭载高端直线电机、定位精度0.5um，1000mm/s的扫描速度为企业提供更快的检测效率；

2、具备A（点扫描）、B（纵向扫描）、C（横向扫描）、多层扫描、Tray-托盘扫描，厚度测量等系列扫描模式。

3、具备定量测分析功能，以图像方式直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小，并进行缺陷的尺寸和面积统计，自动计算缺陷占所测量面积的百分比；具备缺陷尺寸标识；厚度与测距等功能。

4、 具备图像着色功能，可根据相位翻转自动着色；可根据灰度等级手动着色；可根据厚度变化，自动着色。

5、适用于单个器件的快速扫描分析，也可批量放置样品同步进行缺陷识别，快速筛选出不合格品。

6、软件算法自主研发，并可根据客户的具体应用场景进行定制，有效满足新能源、半导体、陶瓷基板、电力电子、热管理材料、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等行业需求。

Hiwave超声检测影像

该系列产品强大的检测功能及稳定性也受到了国内外众多企业的信赖，目前Hiwave公司系列超声扫描显微镜产品已成功进入华为、施耐德、西门子、TDK、正泰、银轮股份、美泰乐、攀时、温州宏丰、爱美达、浙江大学、富耐克、乐山无线、固电半导体等行业龙头企业供应体系，也为我国超声检测技术发展向前更进一步。