论高频超声波扫描显微镜在尖端制造检测重要性

       超声波扫描显微镜SAM（scanning acoustic microscope)，又称SAT（Scanning Acoustic tomography）。它是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备。超声波扫描显微镜的主要扫描模式为C-Scan模式，所以也可称为超声C扫描检测系统。常用于工业无损检测（NDT）、失效分析（FA）、可靠性分析（RA）、质量检测（QC）以及研发等多个领域。

       我国是“制造业大国”拥有世界上最全的工业板块品类，却不是“制造业强国”其本质原因是我国尖端制造领域与国际尖端制造间的差距。多数卡脖子技术在今日欧美日关键技术封锁、芯片打压、贸易战对抗、经济互相制裁期间问题凸显越发严重。最明显的案例就是美国对我国企业华为的制裁。工欲善其事，必先利其器。对于制造业来说、高精度的仪器仪表就是“利其器”。

晶圆键合缺陷-Hiwave超声SAT测试现场

超声波扫描显微镜（SAM）常用于在质量保证及可靠性分析以及研发等领域。是评判制造业技术优劣的重要仪器仪表。可检测电子元器件、复合材料内部缺陷、锂电池电解液分布、金属基板的分层、裂纹等缺陷(裂纹、分层、空洞等)。通过图像对比度判别材料内部声阻抗差异、确定缺陷形状和尺寸、确定缺陷方位，检测精度可达微米级别。与X-ray射线检测相比，超声波扫描技术具有灵敏度高、适用范围广、检测成本低，检测速度快、可对缺陷定性定量分析、对人体和环境无害等优点。

Hiwave超声扫描显微镜检测AMB陶瓷覆铜板内部空洞缺陷

       1、Hiwave水浸超声扫描显微镜在汽车制造业零部件焊接质量检测

       一台普通汽车里面约有一万多个零部件，数十种焊接工艺，涉及钢铁、铜、铝、镍、钨及其多种合金材料的焊接。其焊接质量是否可靠，直接关系到一台汽车的整体性能和安全性。因此，对汽车零部件焊缝焊接质量检测，是车企们必须严格把关的质量检测环节。传统的破坏性检测，传统手持式超声探伤仪检测对焊缝的反应结果往往不客观，检测精度较低，微小的裂纹、空洞会被忽略、依赖人工主观判断，且耗时耗力，无法确切的了解真实焊接面情况。而高频的超声波扫描显微镜具备更高的检测精度。且可以对于焊接层、焊缝进行精准成像。利于对缺陷进行定性定量分析，这便大大增强了焊接质量检测的可靠性。

（Hiwave超声扫描显微镜检测汽车水冷板焊接质量超声C扫描图）

       2、Hiwave超声扫描显微镜在半导体封装检测领域应用

       芯片制造可谓是工业制造领域的“天花板”，是工业科技发展的顶级代表。在这里不乏一些价格昂贵的仪器仪表例如扫描电镜、电子显微镜、扫描隧道显微镜、工业CT...等精密仪器。但超声扫描显微镜SAT的身影在芯从wafer bonding（晶圆键合）缺陷检测到芯片封装质量检测等多个工艺环节中处处可以窥见它的身影。下文是和伍超声扫描显微镜在芯片封装领域的检测案例；从Hiwave研发的S600超声扫描显微镜设备中，我们可以很清晰的辨别出晶圆内部键合层的缺陷。

晶圆内部键合缺陷-Hiwave超声SAT检测效果

Hiwave-S600型超声扫描显微镜检测SOT系列芯片封装质量（C-Scan图）

Hiwave-S600型超声扫描显微镜检测存储芯片封装质量（C-Scan图）

       长期以来，先进的高频超声扫描显微镜SAT设备研发制造技术一直被欧美等发达国家所有，近些年，随着我国综合国力的提升以及科学技术的进步，上海Hiwave自从2012年刻苦攻关高频超声SAT设备研发，在目前也取得了不错的成果，让我国相关企业在尖端制造业检测设备上多了一个国产民族品牌的选择。Hiwave研发的超声扫描显微镜SAT设备也获得了国内外客户们如华为、比亚迪、中国电子、西门子、施耐德等相关企业的高度认可及应用。目前已深入应用于半导体芯片、航空航天、新能源汽车、复合材料、锂电池...等领域的缺陷检测方面。

锂离子电池电解液浸润性分布Hiwave超声扫描显微镜检测T-scan图像

       世界制造业强国一定是科技强国一定是基础研究强国，基础研究强国一定是测量与仪器强国。门捷列夫说：“科学是从测量开始的”，“没有测量就没有科学，至少是没有精确的科学、真正的科学”,“测量是科学的基础”。和伍愿与国内仪器仪表制造领域的同仁广泛交流、互相学习，探讨进取合作。为我国“制造业强国之路”尽以绵薄之力。