水浸超声扫描显微镜SAT（也叫做C-SAM）是利用超声波扫描成像技术用来检测材料内部缺陷的一种无损检测设备。

01为什么叫做水浸超声扫描显微镜？

    超声扫描显微镜主要利用超声波波束在不同材料介质传播的机制。超声波在空气中容易散射掉，超声波的方向性好，穿透能力强，易于获得较集中的声能，在水中传播距离远且稳定，可用于测距、测速等。

    因此，超扫SAT检测的工件一般都需要浸润在液体介质中（如去离子水或硅油中），也被称为水浸超声扫描显微镜。

被检工件需浸泡在液体中

    超声扫描显微镜用的超声波频率更高，一般大于15MHZ，最高可达几百赫兹，而传统无损探伤仪器超声波束频率在5MHZ以下。由于超声波频率越高，波长越短，指向角越小，方向性越好，同时检测精度，分辨率也越高。一般选用液体作为连接检测材料的超声波传输介质，常见的有：去离子水、硅油、酒精等等液体介质。

超声波扫描显微镜使用的高频探头

02水浸超声扫描显微镜特点

    超声扫描显微镜最常用的检测模式是超声C-SAM技术，也就是超声扫描工件内部横截面的成像技术。因为其对缺陷检测精准、检测精度高、成像直观效果好。超扫SAT检测缺陷材料范围广，常常应用半导体领域，集成电路元器件内部缺陷检测。比如芯片封装时产生的虚焊、分层、空洞、气泡、裂纹等缺陷，用水浸超声扫描显微镜可以很直观精准的判断出来，检测精度可达微米级别。

图为超声扫描显微镜芯片内部C扫描图像，红圈内为裂痕缺陷

03知名的国产水浸超声扫描显微镜品牌

    目前，我国知名度较高的国产水浸超声扫描显微镜设备有上海和伍智造营Hiwave 联合上海交通大学、浙江大学研发的S100-S800系列。其检测性能可满足市场大多数领域检测需求，如半导体芯片封装领域内部缺陷检测、金刚石复合片、PCD刀具内部缺陷检测及厚度测量、复合材料内部缺陷检测、汽车零部件内部缺陷检测、低压电器领域内部缺陷检测、新能源锂电池内部缺陷检测、IGBT模组功率半导体内部缺陷检测。

Hiwave水浸超声扫描显微镜正在扫描芯片内部缺陷

    可以说，能够研发出中国人自己的水浸超声扫描显微镜设备，代表着我国超声无损检测技术发展又迈上了一个新的台阶。

    Hiwave 系列的超声扫描显微镜也被国内多所高校实验室龙头企业所认可，如中科院、国防科技大学、七零七研究所、中国物理研究所第四所河北工业大学…华为、比亚迪、中国电子、正泰、施耐德等国内外知名企业都先后采购Hiwave 的水浸超声扫描显微镜设备，从而为他们的产品内部的质量缺陷检查提供更精确、更高精度的检测图像。