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超声波扫描显微镜 SAT、C-SAM超声C扫描设备

作者:超级管理员

超声波扫描显微镜英文名是:Scanning Acoustic Microscope,简称SAM,由于它的主要工作是超声C扫描模式,因此也简称:C-SAM、或者SAT。是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备。

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Hiwave水浸超声扫描显微镜

原理是通过向被测物发射高频超声波传递到工件内部,在经过两种不同材质之间界面时,由于不同材质的声阻抗不同,工件对声波的吸收和反射程度的不同,采集的反射或者穿透的超声波能量信息的变化来反应工件内部图像。来检查样品内部出现的分层、裂缝或者空洞等缺陷。

超声波扫描显微镜是理想的无损检测方式,广泛的应用在物料检测(IQC)、失效分析(FA)、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域。检测电子元器件、LED、金属基板的分层、裂纹等缺陷(裂纹、分层、空洞等);通过图像对比度判别材料内部声阻抗差异、确定缺陷形状和尺寸、确定缺陷方位。检测精度可达微米级别。

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Hiwave超声扫描显微镜检测半导体C扫描图

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Hiwave超声扫描显微镜检测半导体着色图

超声波扫描显微镜测试分类:按接收信息模式可分为反射模式与透射模式。按扫描方式分可分为 A扫,B扫,C扫、T扫、P扫、分焦距扫描,分频率扫描等多种方式。

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Hiwave 超声检测SOP系列芯片C扫T扫对比图

Hiwave水浸超声波显微镜的在失效分析中的优势非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构可分层扫描、多层扫描实施、直观的图像及分析缺陷的测量及缺陷面积和数量统计可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等)超声波扫描显微镜测试步骤:确认样品类型→选择频率探头→放置测量装置中→选择扫描模式→扫描图像→缺陷分析利用去离子水当介质传输超声波信号,当讯号遇到不同材料的界面时会部分反射及穿透,此种发射回波强度会因为材料密度不同而有所差异,扫描声学显微镜就是利用此特性,来检验材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成像。

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Hiwave超声扫描显微镜检测芯片T扫图

超声波扫描显微镜的应用领域:

半导体电子行业:半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;

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Hiwave超声扫描显微镜检测芯片内部分层缺陷着色图

Hiwave超声扫描显微镜检测新能源汽车水冷板焊接缺陷:

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Hiwave超声扫描显微镜检测汽车水冷板焊接缺陷图

Hiwave超声扫描显微镜检测锂电池浸润性缺陷:

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Hiwave超声扫描显微镜检测锂电池内部浸润性正常图

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Hiwave检测锂电池内部浸润性缺陷图

Hiwave超声扫描显微镜检测材料行业:复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等内部缺陷C扫图像。

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Hiwave超声扫描显微镜检测PCD金刚石复合材料内部缺陷图

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